30年を超える実績でお客様をサポート 
半導体洗浄装置・UV殺菌装置のパイオニア 
株式会社 三輝
製品案内
  • 洗浄エッチング装置
  • 実験用ドラフトチャンバー
  • 治工具類・部品類・精密部品
  • クリーンルーム用機器
  • UV応用製品 水処理装置
  • UV応用製品 光表面改質・洗浄処理装置
  • UV応用製品 UV硬化装置
  • 環境・衛生機器
  • 各種実験機

弊社は創業以来30数年もの長きにわたり、半導体洗浄装置メーカーとして、最先端のメカトロ二クスおよびクリーン技術により設計・製作・開発に携わってまいりました。

お客様は、大手メーカー、大学、公的機関など幅広くからご用命を頂き、
京都の半導体洗浄装置・紫外線UV殺菌装置の設計/製作/開発会社として実績を重ねております。

近年では「太陽電池基板洗浄装置」「精密部品洗浄装置」「ガラス洗浄装置」、また紫外線(UV)部門では「水処理装置」「紫外線UV殺菌装置」「タンク内殺菌装置」「紫外線UV硬化装置」「光洗浄装置」「紫外線表面改質装置」、「食品紫外線殺菌装置」の提供も行っています。

今後も様々なニーズに対応できるように日々努力し、皆様に愛される企業を目指して取り組んでまいります。

製品例

洗浄エッチング装置・炉芯管洗浄装置
薬液供給装置・有機洗浄装置
実験用ドラフトチャンバー
洗浄ドラフトチャンバー
テフロンヒーター・石英ヒーター
クリーンルーム用機器
エアーシャワー・気流可視化装置
紫外線流水処理装置
紫外線オゾン併用水処理装置
タンク内殺菌装置・光酸化処理装置
UV硬化装置・光表面処理装置
光改質装置・光洗浄改質装置
紫外線オゾン脱臭/殺菌装置
紫外線表面殺菌装置・表面殺菌装置
光化学反応実験機